激光调阻机几大系统详细解析
1、激光器系统: 激光波长:1064nm(Nd:YAG) 激光平均功率:8W@10KHZ(TEM00) 激光频率:0.5K-50K 脉冲宽度:40ns 光束质量:M2<1.3 对焦方式:自动,计算机程序控制
2、XY分步重复系统: 其运动方式:直线电机运动系统,利用直线电机电磁驱动,配备光栅尺位子反馈,实现高速度、高精度运动。
3、光束定位系统: 描范围在60mmX60mm,运动分辨率在0.76µm,重复定位精度精确到2.5µm,可编程定位或图像识别自动定位,为提高光束定位效果,多采用高质量放射镜片,减少对激光加工质量的影响。
4、分步重复运动系统: 运动方式:空气悬浮运动,无摩擦力 运动范围:290mm*260mm 重复定位精度:±1µm 运动速度(空载):900mm/s
5、矩阵测量系统: 电阻测量方式:四线制测量或二线制测量 测阻范围和精度都有很严格的要求,速度在25µs,零点及满城误差矫正需自动化。
6、软件系统: 软件编程需具备强大的自适应功能,可适应各种电阻的调整及电子模块的功能,提高自动化运行。强大的数据库存储能力,令操作流程可追踪。设置锁定功能,不合格品自动变色提示,减少废品产生。
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