光刻胶有什么作用

2025-04-11 19:47:54

1、在光的照射下溶解速率发生变化，利用曝光区与非曝光区的溶解速率差来实现图形的转移。

2、溶解抑制/溶解促进共同作用。

3、将掩膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层。

4、在后续工序中，保护下面的材料（刻蚀或离子注入）。

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