薄膜介电测量系统（配置及原理）祥情

1、 Partulab CPS系列低温真空探针台 配置： CPS-7000 低温真空探针台 （二选一） --4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台 --SRS CTC-100温控仪及传感器 --液氮传输系统 CPS-8000 低温真空探针台 （二选一） --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台 --SRS CTC-100温控仪及传感器 PPS-90 真空辅助系统 --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量 VSZ70KIT 可视化视觉系统 --7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源

2、 Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件） 配置： 6500B 精密阻抗分析仪 --6505测量频率 20Hz 至 5MHz（四选一） --6510测量频率 20Hz 至 10MHz（四选一） --6520测量频率 20Hz 至 20MHz（四选一） --6530测量频率 20Hz 至 30MHz（四选一） --测量参数Z, Ø, L, C, R, Q, D, Y, G, B, X --精度0.05% --可选±40V直流偏压

3、 Partulab DielectricMeaskit 测量套件 洧粽袄淖配置： FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough --4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护炼蓄晦擀电缆 CSH-DE 介电同轴样品固定座 --模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好 DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具 --阻抗50欧姆的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25µm PA-DE 介电测量探针臂 --介电用的测量探针臂，带热沉 MEMS多功能材料电学测量分析软件 --附带全套介电功能测量分析软件

4、原理：样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。