电子束曝光步骤

1、我们第一步要先准备好待加工样品，要先在待加工样品上面涂上一层电子束抗蚀剂，在底层的电子束抗蚀剂上形成金属层；

2、我们还选出需要修正的绘制图形，然后再选出包括所选绘制图形的多个曝光轰击区。

3、要确定适于绘制图形的中心部分的电子束逃仵鲔忻曝光量;修正端部以形成辅助曝光图形,该辅助曝光图形用于修正绘制图形端部图形尺寸的偏差。

4、最后用顶层电子束抗蚀剂做掩膜刻蚀金属层及底层电子束抗蚀剂将曝光图形转移到待加工样品上。