电子行业超纯水设备工艺流程说明

1、超纯水制造典型工艺流程为：1、预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-啤孩巷柚纯水泵-用水点2、预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-滑襞涕烽紫外灯-用水点3、预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点4、预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点

2、第一级预处理系统：采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20 m以上对人体有害的物质，系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。

3、第二级预处理系统：采用果壳活性碳过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。

4、第三级预处理系统：采用阳树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙、镁离子(形成水垢的主要成分)，可有效延长反渗透膜的使用寿命，并可进行智能化树脂再生。

5、第四级预处理系统：采用5um 孔径精密过滤器，使水得到进一步的净化，使水的浊度和色度达到优化。保证RO 系统进水条件要求，保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。

6、反渗透(超滤)设备主机：采用反渗透(超滤)技术进行深度脱盐处理(进口美国反渗透膜)去除钙、镁、铅、汞等对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率达99%以上，生产出符合国家标准的纯净水。

7、微过滤装置：安装该装置主要是为防止微粒树脂颗粒从布水中滤出，造成二次水质污染，这主要是运用在对水质特别高的场合。

8、杀菌系统：采用臭氧发生器(或紫外线杀菌器)，减少细菌二次污染，灭菌率可达99%以上，同时臭氧溶于水形成富氧水，保证水的纯鲜。采用水气混合器使臭氧充分与水混合，达到最佳浓度比。

9、超纯水设备采用反渗透系统+EDI联用工艺。石英砂过滤器和保安过滤器构成预处理卺肿蓦艚系统，石英砂过滤器去除原水中的悬浮物及细菌、病毒等污染物，通过保安过滤器进一遘抟斟喏步过滤，保证反渗透系统的进水水质。进入反渗透系统的水经过处理，大分子物质被脱除，从而进入EDI处理单元，电除盐作用可以去除水中90%以上的离子，使水质达到超纯水标准，符合生产的要求。